吕梁塑料管材设备 北京芯力本事改进中心央求具有碎边扼制果的芯粒切割法利,显耀擢升终堆叠芯片的总体良率

国常识产权局信息表露吕梁塑料管材设备吕梁塑料管材设备吕梁塑料管材设备,北京芯力本事改进中心有限公司央求项名为“具有碎边扼制果的芯粒切割法”的利吕梁塑料管材设备,公开号CN121487519A,央求日历为2025年10月。
电话:0316--3233399利摘记表露,本发明提供种具有碎边扼制果的芯粒切割法,通过将晶圆物理切割成多个而制备芯粒,包括:在要被切割成芯粒的晶圆的名义生成TiN膜层,旋涂水溶液体膜层;通过在晶圆的切割谈位置进行激光蚀而使名义的介电膜层和水溶液体膜层王人酿成在切割谈位置处断开的图案;通过酸洗而去除残留的TiN膜层和水溶液体膜层;利器具有在切割谈位置处断开的图案的水溶液体膜层行动掩模,通过等离子体蚀刻而部分地蚀刻芯片中的硅材,以使切割谈位置处的硅材名义度低于所述晶圆的其余位置处的硅材名义度。期骗本发明,简略兼顾制造工艺中条款的选材和尺寸活泼,显耀擢升终堆叠芯片的总体良率化芯片和晶圆的堆叠本事,异型材设备完了并擢升工艺闇练度。
天眼查贵府表露,北京芯力本事改进中心有限公司,拓荒于2023年,位于北京市,所以从事软件和信息本事就业业为主的企业。企业注册本钱65051.5464万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,北京芯力本事改进中心有限公司参与招投标神志465次,财产痕迹面有信息6条,利信息67条,此外企业还领有行政许可59个。
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作家:谍报员
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